Model
Application
Chamber Vol.
Chamber size
Chamber Qty Max. Temp
 BO-HM-01
 Conventionalwith PAT Baking oven  250ml
φ60×90mm  1 200℃
 HM-04
 Conventional
70ml
 φ40×60mm
200℃
160ml
φ60×56mm 
 HM-04Y
 High size chamber
250ml  φ60×90mm
4 200℃
 HM-04BM
 Large size chamber
595ml
 φ80×120mm
4 200℃
 HM-04BM PTFE  PTFE chamber 180m φ60×65mm 4 200℃
 HM-04II  Conventional 180ml  φ60×62mm 4 200℃
 HM-06  Conventional   160ml  φ60×57mm 6 200℃
 High size chamber type 320ml φ60×114mm
 HM-10  Conventional 75ml φ40×60mm 8 200℃
 Large size chamber 471ml φ100×60mm 2
 HM-08  Conventional 300ml φ100×40mm 8 250℃
 HM-08-70  Conventional 209ml φ60×74mm 8 200℃
 HM-24  Conventional 30ml φ30×40mm 24 200℃
 HM-24-80  Conventional 100ml φ40×80mm 24 200℃
 TDV-04  DVD 451ml φ130×34mm 4 200℃
 PM-0604  Photomask 650ml W20×H180×D180mm 4 200℃
 UVHM-4000  UV Curing 20ml φ16×100mm 2 200℃
 Conventional (Option) 220ml W60×H20×D200mm
 HM-1545  Printer Role 9922ml φ159×500mm 1 200℃
 PC-100  Super size 120L W507×H495×D480mm 1 200℃
 FD-4000  Flat Disk 40ml φ100×5mm 1 200℃
 FP-9000  Flat Panel Display  157ml φ200×5mm 1 400℃
 SW-8400  Silicon Wafer 157ml φ200×5mm 1 400℃
 SW-12400  Silicon Wafer 353ml φ300×5mm 1 400℃
 HD-2506  2.5' HDD 122ml W16×H72×D106mm 6 250℃
 HD-3504  3.5' HDD 492ml W29.5×H109×D153mm 4 250℃